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本公司董事會(huì)及全體董事確保本公告內(nèi)容不存在任何虛假記載、誤導(dǎo)性陳述或者重大遺漏，并對(duì)信息的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和完整性依規(guī)負(fù)法律責(zé)任。

核心內(nèi)容提醒：

● 沈陽(yáng)市芯源微電子產(chǎn)品有限責(zé)任公司（下稱“企業(yè)”）定于2024年3月19日在企業(yè)上海臨港工廠竣工儀式當(dāng)場(chǎng)公布前片式式有機(jī)化學(xué)清洗設(shè)備新產(chǎn)品KS-CM300，于3月20日至22日SEMICON China 2024國(guó)際半導(dǎo)體材料展會(huì)期間公布自動(dòng)式SiC片區(qū)碎片一體機(jī)新產(chǎn)品KS-S200-2S1B。

● 以上新品的公布將進(jìn)一步豐富企業(yè)的產(chǎn)品矩陣，擴(kuò)寬企業(yè)在半導(dǎo)體裝備銷售市場(chǎng)的項(xiàng)目室內(nèi)空間，有利于鞏固和提高企業(yè)競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，預(yù)估將會(huì)對(duì)公司戰(zhàn)略發(fā)展產(chǎn)生一定的影響。

● 以上新品現(xiàn)階段沒(méi)有取得顧客宣布訂單信息，存有將來(lái)品牌推廣與客戶拓展不如預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)，敬請(qǐng)廣大投資者注意投資風(fēng)險(xiǎn)，科學(xué)理財(cái)。

一、新品基本概況

（一）前片式式有機(jī)化學(xué)清洗設(shè)備

1、公布時(shí)間及地點(diǎn)

定于2024年3月19日早上在上海浦東新區(qū)飛越路1388號(hào)芯源微臨港新城工廠公布。

2、商品簡(jiǎn)單介紹

這款機(jī)器設(shè)備由企業(yè)上海臨港子公司自主研發(fā)，具有較高的加工工藝覆蓋性、性能穩(wěn)定、高潔凈度等級(jí)、增產(chǎn)能、高智能化系統(tǒng)等諸多優(yōu)點(diǎn)，適用塑料薄膜前后左右清洗、干式蝕刻加工后清理、干法刻蝕灰化后清理、CMP后清洗等多種多樣清理加工工藝，可以滿足客戶對(duì)于UP Time、離子注入一致性等可靠性指標(biāo)嚴(yán)苛要求。與此同時(shí)，機(jī)器設(shè)備還充分借鑒了企業(yè)在前面道Track及Scrubber等方面的關(guān)鍵技術(shù)，根據(jù)逐步完善內(nèi)部結(jié)構(gòu)模塊及整體設(shè)計(jì)方案，能夠有效保證機(jī)器設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)免疫微環(huán)境勻稱平穩(wěn)，并最大限度縮小chamber室內(nèi)空間，發(fā)布的高產(chǎn)能架構(gòu)設(shè)計(jì)可以助力客戶完成清理質(zhì)量的大幅提升。除此之外，機(jī)器設(shè)備也將配置多種智能化系統(tǒng)作用，完成AI創(chuàng)變。

（二）自動(dòng)式SiC片區(qū)碎片一體機(jī)

1、公布時(shí)間及地點(diǎn)

定于2024年3月20日至22日在上海新國(guó)際博覽中心SEMICON China 2024展覽會(huì)N3館-3201公布。

2、商品簡(jiǎn)單介紹

這款機(jī)器設(shè)備由企業(yè)日本國(guó)分公司與合作伙伴合作研發(fā)，主要應(yīng)用于6/8寸SiC單晶硅片的分割及碎片加工工藝，與此同時(shí)應(yīng)用領(lǐng)域可擴(kuò)展至別的三五族化學(xué)物質(zhì)、瓷器、藍(lán)色寶石等特種纖維。該設(shè)備臺(tái)具備整個(gè)設(shè)備設(shè)計(jì)方案緊密、配備靈便、增產(chǎn)能、干式激光切割、橫斷面整齊、無(wú)創(chuàng)口損害等優(yōu)點(diǎn)，旨在為下游企業(yè)提供更經(jīng)濟(jì)發(fā)展高效率的特種纖維激光切割計(jì)劃方案。

二、新品對(duì)公司的影響

公司是國(guó)內(nèi)點(diǎn)膠成像細(xì)分行業(yè)領(lǐng)頭，經(jīng)過(guò)多年的發(fā)展，產(chǎn)品已經(jīng)詳細(xì)遮蓋前晶圓加工、后整先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體等諸多領(lǐng)域，下游企業(yè)包含國(guó)內(nèi)各大芯片加工、封裝廠及化學(xué)物質(zhì)半導(dǎo)體廠商。

此次上線的前片式式有機(jī)化學(xué)清洗設(shè)備新產(chǎn)品，將極大填補(bǔ)企業(yè)在前面道片式式化學(xué)水處理領(lǐng)域的空白，完成“物理學(xué)+有機(jī)化學(xué)”清理雙遮蓋，為公司發(fā)展打造新的業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)點(diǎn)；發(fā)布的自動(dòng)SiC片區(qū)碎片一體機(jī)，將進(jìn)一步豐富企業(yè)在超小型行業(yè)的產(chǎn)品布局，提高在超小型領(lǐng)域內(nèi)的人才吸引力。

將來(lái)，公司將繼續(xù)根據(jù)行業(yè)領(lǐng)先的點(diǎn)膠成像及濕式領(lǐng)域等有關(guān)技術(shù)實(shí)力，依照“整個(gè)設(shè)備+構(gòu)件”雙輪驅(qū)動(dòng)戰(zhàn)略，不斷完善產(chǎn)品布局，促進(jìn)本身健康可持續(xù)發(fā)展。

三、必需的風(fēng)險(xiǎn)提示

企業(yè)以上新品現(xiàn)階段沒(méi)有取得顧客宣布訂單信息，后續(xù)將根據(jù)市場(chǎng)狀況推廣銷售擴(kuò)展，新產(chǎn)品銷售會(huì)受到將來(lái)市場(chǎng)的需求、認(rèn)可度、市場(chǎng)拓展幅度及技術(shù)規(guī)格迭代更新等多方面因素產(chǎn)生的影響，存有將來(lái)品牌推廣與客戶拓展不如預(yù)期的風(fēng)險(xiǎn)。

企業(yè)尚無(wú)法預(yù)料新品對(duì)公司當(dāng)前和今后經(jīng)營(yíng)效益產(chǎn)生的影響，敬請(qǐng)廣大投資者注意投資風(fēng)險(xiǎn)，科學(xué)理財(cái)。

特此公告。

沈陽(yáng)市芯源微電子產(chǎn)品有限責(zé)任公司股東會(huì)

2024年3月19日